探针台

2018年09月20日

 探针台

(探针台) 

一、探针台简介

 

探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

探针台 

(探针台)



二、探针台分类
探针台从操作上来区分有:手动探针台、半自动探针台和全自动探针台。
从功能上来区分有:温控探针台、真空探针台(超低温探针台)、RF探针台、LCD平板探针台、霍尔效应探针台和表面电阻率探针台。

 

1、经济手动型探针台

经济手动型探针台

(经济手动型探针台)


可根据客户需求定制


chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)


X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)


chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离


显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)


显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)


探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关


可搭配Probe card测试


适用领域:晶圆厂、研究所、高校等


2、半自动型探针台

半自动型探针台

 


chuck尺寸800mm/600mm


X,Y电动移动行程200mm/150mm


chuck粗调升降9mm,微调升降16mm


可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜


针座摆放个数6~8颗


显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"


可搭配Probe card测试


适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品


3、电动型探针台


chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)


X,Y电动移动行程300mm x 300mm


chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u


可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜


针座摆放个数8~12颗


显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“


材质:花岗岩台面+不锈钢


可搭配Probe card测试


适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品


4、LCD半自动探针台


机械手臂取放片


电动、键入坐标寻位置


量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000


5、LCD手动探针台


白炽灯或者LED整面背光


TFT元件特性、Driver IC量测分析


机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300


6、PCB量测探针台(TDR)


高频测试探头GSG / GS / SG


频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ


机台尺寸同LCD 探针台


太阳能产业探针台(Solar Cell 量测系统)


量测软体:


I-V /C-V Curve, Isc, Voc,


Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,


Power Convert Efficiency


采用KEITHLEY Source Meter


可加配任意品牌之太阳光模拟器

 

7、高精度探针台


目前世界出货量第一的型号吸收了最新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。


特性1:OTS-最近的位置对正系统(光学目标对准)  OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其绝对位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。


特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统) 为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。


特性3:装载部件。令客户满意的测试环境,可以提供从前部开始的通常的8“,12”及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。


特性4:TTG(一点即到)
更加方便的操作,UF3000采用在显示屏上点一下,相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。

 

四、探针台功能

 

探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的一种测试设备,主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 

 

五、探针台工作原理


 

探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触,引出讯号,达到测试的目的。

 

六、探针台用途


探针广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

 

 

 

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1、探针是什么?

 

2、如何选购探针台?

来源:新富城探针网
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公司名称:深圳市新富城电子有限公司

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