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探针卡是什么?

时间:2023-01-07 10:21来源:未知 作者:admin 点击:
探针卡(Probe card)是由探针(probe pin)、电子元件(component)、线材(wire)与印刷电路板(PCB)组成的一种测试接口,根据不同的情况,还会有电子元件、补强板(Stiffener)等的需求,主要对裸芯进行测试,即wafer level测试。
 
探针卡
探针卡(Probe card)是由探针(probe pin)、电子元件(component)、线材(wire)与印刷电路板(PCB)组成的一种测试接口,根据不同的情况,还会有电子元件、补强板(Stiffener)等的需求,主要对裸芯进行测试,即wafer level测试。
 
一、探针卡类型
 
1、U-Probe
 
U-Probe是指适用于存储设备测量的探针卡(probe card)。U-Probe的探针面积等于晶圆尺寸,因此探针可以放置在晶圆上的任何位置。用于DRAM的U-Probe具有新月形的DUT布局,可以最有效地利用空间,从而充分利用测试仪的资源。
 
 
适用于DRAM的U-Probe
 
DUT布局减少了测试晶圆片所需的接触次数,并实现了整个晶圆的均匀以实现最佳接触,从而显着提高了测试良率。不仅如此,它还允许使用MEMS探针“微悬臂”和薄膜多层技术进行晶圆级探测。
 
2、 垂直探针卡
 
Vertical-Probe是指适合常规逻辑产品(包括SoC和微计算机产品)的多管芯测试的探针卡。
 
它被称为“垂直型”探针卡,因为探针针垂直于基材。由于其短针状结构且与设备垂直接触,因此垂直类型最适合于测量小焊盘,高频设备。
 
 
3 、微机电系统探针卡
 
MEMS-SP是指用于逻辑器件的探针卡(probe card),适用于微处理器和SoC器件的倒装芯片以及细间距凸点晶圆测试。
 
 
微机电系统探针卡
 
得益于垂直弹簧针型探针和MEMS技术制造,MEMS-SP可以进行几乎没有变化的高精度和可靠测试。
 
此外,其结构允许更换单针,从而减少了维护时间。
 
 
探针
 
4、 SP探针卡
 
SP-Probe是指垂直弹簧针型探针卡(probe card)。用于NAND闪存的SP-Probe适用于12英寸晶圆的一触式测试。其高针压规格通过与氧化膜下的垫片接触来帮助实现稳定的接触,还允许更换单针以方便维护。
 
 
垂直弹簧针型探针卡
 
5 、WLCSP晶圆级封装芯片测试探针卡
 
晶圆级芯片级封装(WLCSP)的探针卡适用于测试区域阵列设备。探针的尖端有皇冠型和扁平型规格,您可以根据测试环境选择一种。
 
随着芯片制程越来越小,晶圆代工工艺越来越先进,测试技术也不断提高。探针作为测试阶段的耗材,对其精密度、产量、寿命、一致性的也要求越来越高了。
 
 
二、探针卡的用途
 
探针卡主要作用是将晶圆die的pad,通过探针精准扎到pad上的方式,引出die上的信号和电源,引出来的信号用于中测使用。

三、探针卡的使用方法


晶圆测试时,被测对象安置于探针台之上,然后用探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出测试机(Atomic Test Equipment, ATE)产生的芯片讯号施加于被测器件之上,并将被测器件中的反馈信号传输回ATE,从而完成整个测试。测出、筛选出不良晶圆后,再进行封装工程,这一步骤相当大的影响着芯片制造成本。

通过以上的介绍,你对探针卡是不是有了一个比较全面的了解?!
(责任编辑:admin)
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