金融界2024年3月11日消息,据国家知识产权局公告,海目星激光科技集团股份有限公司申请一项名为“硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法“,公开号CN117672934A,申请日期为2023年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法,硅片输送系统,包括:转台装置,用于将硅片从进料位依次转动搬运至第一加工位、第二加工位和出料位;第一探针装置,包括受控能够上下移动的第一探针模组,第一探针模组位于第一加工位的上方,第一探针模组用于与位于第一加工位的硅片的第一加工区域相对、以避开位于第一加工位的硅片的第二加工区域;第二探针装置,包括受控能够上下移动的第二探针模组,第二探针模组位于第二加工位的上方,第二探针模组用于与位于第二加工位的硅片的第二加工区域相对、以避开位于第二加工位的硅片的第一加工区域。
(本文源自:金融界,作者:情报员,《海目星申请硅片输送系统专利,提高硅片加工效率》)
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